Новости мировой керамической промышленности

Порошок оксида церия для применения CMP

2024-10-14

Компания Engineering Ceramic Co. (EC © ™) Отчет:


Как объявила Национальная комиссия по развитию и реформам (NDRC) на пресс-конференции в понедельник,  Китай выделил 200 миллиардов юаней (28 миллиардов долларов) на инвестиционные проекты местных органов власти в этом году, поскольку он пообещал достичь своих собственных амбициозных целей экономического роста.



Эти проекты включают в себя полупроводниковую промышленность, такую ​​как химико-механическая полировка (ХМП). В процессе производства полупроводников поверхность чипа должна быть очень плоской, чтобы обеспечить нормальную работу схемы. Химико-механическая полировка является ключевым процессом для достижения этой цели.оксид цериястановится важным абразивом в суспензиях ХМП благодаря своим уникальным физическим и химическим свойствам. Дисперсия нанооксида церия сильно окисляется на кремниевых пластинах и может образовывать очень тонкий оксидный слой на поверхности кремниевой пластины. Это не только способствует повышению эффективности полировки, но также позволяет кремниевой пластине получить очень низкую шероховатость поверхности, сделать поверхность изделия блестящей и добиться зеркального эффекта.  



По сравнению с другими широко используемыми абразивными материалами компания Engineering Ceramic Co. (EC © ™) производит специальный порошок оксида церия, который обладает более превосходным полирующим эффектом. Он может эффективно удалять мельчайшие частицы, примеси и неровности на поверхности кремниевой пластины, улучшать плоскостность и чистоту кремниевой пластины, выделять меньше тепла и химических остатков в процессе полировки, а также наносить меньше повреждений полупроводниковым материалам.

 

 


Химическая формула: CeO2

Молярная масса: 172,115 g/mol

Внешний вид: белое или бледно-желтое твердое вещество, слегка гигроскопично.

Плотность: 7,215 г/см3

Температура плавления: 2400 ° C (4350 ° F; 2670 К).

Точка кипения: 3500 ° C (6330 ° F; 3770 К)

Растворимость в воде: нерастворим.

Магнитная восприимчивость (χ): +26,0·10−6 см3/моль

Кристаллическая структура: кубическая (флюорит).



Заявление: Статья/новость/видео взяты из Интернета. Наш веб-сайт перепечатывается с целью обмена. Авторские права на перепечатанную статью/новость/видео принадлежат оригинальному автору или оригинальному официальному аккаунту. Если есть какое-либо нарушение, пожалуйста, сообщите нам вовремя, и мы проверим и удалим его.


+86-15993701193hj@engineeringceramic.com
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept